|
|
| Автор: Светлана Козубняк |
| Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана |
| Год: 2013 |
| Cтраниц: 1 |
| Формат: PDF |
| Размер: 0 |
| ISBN: 978-5-7038-3729-0 |
| Качество: excellent |
| Язык: |
|
 |
|
Описание:
|
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(290)
|
